技术特点:
■除提供传统高压水的清洗方案外,还提供采用二流体的清洗方案,在清洗效果的同时也减少了对芯片的损害。可选择机器采用高压水或二流体的清洗方式,也可以选择双摆臂的组合方式。
■采用了应用于航天工程的磁流体密封技术的主轴,真空吸附的真空度,工作件不会因真空泄漏而脱离旋转台盘,从而损坏工作件,因此也了主轴的寿命,令主轴更,更。
■配备5.7英寸全彩色触摸屏,人性化的触摸屏界面,集成了的参数设计和功能操作;并提供信息和错误显示,让操作和信息一目了然。
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