技术性能:
1.控制系统由工业计算机和轴卡组成,性高。
2.X轴采用伺服电机驱动,调速范围宽,运行平稳。
3.Y轴采用直线导轨,滚珠丝杠和光栅反馈闭环控制,无误差积累,定位准确。
4.Z轴采用直线导轨和滚珠丝杠传动方式,定位准确。
5.θ轴采用伺服电机驱动,精密转角机构无误差积累,运行平稳。
6.图像系统由连续变倍显微镜和高清CCD组成,清晰直观。
7.中文操作界面,状态实时显示,操作简便人性化。
8.提供划片工艺编程功能,复杂加工轻松完成,多套工艺方案更换方便。
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