系统简单配置如下:
Load lock
真空系统:机械泵Oil pump/Dry pump+涡轮分子泵/低温泵/电磁泵
离子:DC/RF
均匀性:100 mm衬底+/-4%,刻蚀速率降低均匀性+/-2%
衬底尺寸:4英寸衬底(4-12英寸可选),水冷。
终端检测系统:SIMS 或激光干涉仪。
控制方式:全自动电脑控制,半自动或手动控制可选。
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上海续波光电技术有限公司
免企业未认证证营业执照未上传
经营模式:工厂
所在地:上海市
主营产品:泵及真空设备,反应设备,教学和演示用具,光学透镜和仪器,实验室器具,金刚石工具,其他仪器仪表,电子专用材料