S48 32/HMT气体质量流量计

　　S48　28/HMT质量流量控制器主要技术指标
　　编号  项目  S48　28/HMT
　　1  流量规格  （100，150，200）L/min
　　2  调节阀类型  电磁调节阀
　　3  调节阀静止状态  常闭
　　4  安装角度  任意
　　5  流量控制范围  5%-100%F.S.
　　6  流量测量范围  0%-100%F.S.
　　7  响应时间  2　sec（T98）
　　8  工作环境温度  5-50℃
　　9  温度  15-35℃
　　10    &plun;1.0%F.S.
　　11  线性  &plun;0.5%F.S.
　　12  重复性  &plun;0.2%F.S.
　　13  工作压差  （100/150/200）L/min：（100/150/200）-300kPa（D）
　　14  耐压  3MPa（G）
　　15  泄漏率  1×10-8　Pa•m3/s（He）
　　16  接触气体材料  316L，PTFE，Viton
　　17  管路接头  Swagelok：3/8″Φ10　VCR：1/2″VCR：1/4″3/8
　　18  供电电源  &plun;15VDC（&plun;5%）＋15V，<100mA-15V，<200mA  ＋24VDC（宽电压＋11-＋25V），<350mA（＋24VDC供电时）
　　19  设定信号  （0-5）VDC
　　输入阻>1MΩ  4-20mA；（可定制：1-5V或0-5V，
　　输入阻>100kΩ）
　　20  流量输出信号  （0-5）VDC
　　负载能力≤3mA  4-20mA；（可定制：1-5V或0-5V，
　　负载能力≤3mA）
　　21  电气接头  D-SUB15，D-SUB9
　　22  重量（kg）  2.8