特点及应用领域
气体质量流量控制器（流量计）（M gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49系列质量流量控制器(流量计)特点：
*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON？、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高
*重复性好
*响应速度快、软启动、稳定
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等
S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 项目 S49 32/MT
1 流量规格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 准确度 ±1.5%F.S
5 线性 ±1.5%F.S
6 重复 ±0.2%F.S
7 响应时间 ≤8秒（T95）
8 工作压差范围 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9 耐压 3MPa; 10MPa
10 工作环境温度 （5～45）℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton？， EPDM， 或其他由用户指定
13 漏率 1×10-8Pa.m3/s
14 接头 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15 输入输出信号 （0～＋5.00）V (输入阻≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16 供电电源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸mm 130（宽）×102（高）×28（厚）
18 重量kg 0．8
气体质量流量控制器（流量计）（M gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49系列质量流量控制器(流量计)特点：
*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON？、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高
*重复性好
*响应速度快、软启动、稳定
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等
S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 项目 S49 32/MT
1 流量规格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 准确度 ±1.5%F.S
5 线性 ±1.5%F.S
6 重复 ±0.2%F.S
7 响应时间 ≤8秒（T95）
8 工作压差范围 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9 耐压 3MPa; 10MPa
10 工作环境温度 （5～45）℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton？， EPDM， 或其他由用户指定
13 漏率 1×10-8Pa.m3/s
14 接头 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15 输入输出信号 （0～＋5.00）V (输入阻≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16 供电电源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸mm 130（宽）×102（高）×28（厚）
18 重量kg 0．8
