技术指标
流量范围:满量程从40SCCM 到10SLPM(N2@70℉&5PSIG)
响应时间:3~4秒
和线性:&plun;2%满量程
重复性:&plun;0.2%满量程
量程比:50:1(2%-100%满量程)
工作温度:-10~70℃(14-158℉)
温度漂移:&plun;0.1%/℃
压力漂移:&plun;0.1%/ATM(相对于N2)
设定点输入/流量信号输出:0-5Vdc(流量信号输出的小负载电阻2K
Ω)
供应电源:&plun;12(&plun;5%)或+15(&plun;10%)VDC(电流消耗﹤250mAdc)
安装方向:对位置不敏感
预热时间:10分钟
电气连接:D 型(9针)
过程连接:1/8″NPT 内螺纹
结构材质
主体:铝
阀帽:铝
孔:黄铜
阀组件(接液):不锈钢
Kalrez@and Viton®are registered trademarks of DuPont Dow Elastomers
L.L.C
密封材质(O 型环和阀座):Buna N.EPDM,Kalrez®,
Neoprene 或Viton®
过程连接:镀镍铜(入口)和铝(出口)
订货信息
订货时,请提供:
流量范围
气体类型
工作温度
入口压力
出口压力
标定的标准温度(如:0℃,20℃,21.1℃或25℃)
密封材质
附加选项(如:街头,连接电缆,等)