质量流量控制阀（001，002和 003A 型）

　　001，002和 003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统，该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。
　　
　　001型，002型，003A 型质量流量控制阀门技术参数
　　流量范围＊：从 0-5SCCM 到 0-500SLPM
　　环境和操作温度：-10～70℃（14～158℉）
　　操作压力：1000PSIG（6.9 MPa），具体请参考表一
　　安装方向：对位置不敏感
　　额定工作电压：4-11VDC（ 24VDC）
　　额定工作电流：150mADC（ 275 mADC）
　　阀线圈电阻：80&plun;4Ω（001型和003A 型）；63&plun;3Ω（002型）
　　重量：请参考表一
　　结构材质
　　主体：316不锈钢
　　孔：316不锈钢
　　阀组件（接液）：001型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik？1802
　　002型：302SS，316SS，Sandvik1802
　　003A 型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik1802
　　密封材质（”O”型环和阀座）：001型：Buna N，EPDM，Kalrez，Neoprene，
　　Viton
　　002型：Buna N，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton
　　003A 型：Buna N，Viton
　　＊注：上述流量范围反映的是氮气标定下产生的小流量和流量，可采用其它介质
　　的流量范围，当操作参数有疑问时为了选型，请咨询厂家。