液体质量流量控制器（P2000i系列和D2000i系列）

　　设计特点：
　　压电式控制阀
　　金属密封结构
　　响应时间快
　　设计紧凑
　　316L／316SS 不锈钢结构
　　&plun;1％
　　
　　P2000I 系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。的热式测量系统提供的测量，同时液体温度上升小于5度。的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体进行快速、稳定的控制。P2000I 系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。
　　
　　D2000I 系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构（高纯度和泄漏完整性）。的层流旁路和传感器部件提供的测量，同时液体温度上升5度，此外，D2000I 的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。液体流量计和控制器技术参数。
　　
　　流量范围：P2000I 系列和D2000I 系列液体流量控制器是以异丙醇（IPA）来标定的，在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数，具体请参考表一。
　　
　　响应时间：P2000I 系列：2s（设定点的2％之内）
　　D2000I 系列：＜1s（流量的5％之内）
　　和线性：&plun;1％满量程（P2000I 系列）；&plun;1％读数（D2000I 系列）
　　重复性：P2000I 系列：＜&plun;0.2％满量程（任意连续温度下）
　　D2000I 系列：＜&plun;0.2％读数
　　量程比：P2000I 系列：50：1（2％-100％满量程）
　　D2000I 系列：20：1（5％-100％满量程）
　　操作温度：40℃（104℉）
　　操作压力：125PSIG
　　温度系数：＜0.1％／℃，＞设定点输入
　　流量输出信号：0-5VDC／0-5VDC（输出流量信号时：需小2KΩ电阻）
　　供电电源：﹢15VDC&plun;10％（电流消耗＜200mADC 时）
　　泄露率：1х10-9 ATM.CC／s He
　　预热时间：10分钟（P2000I 系列）；20分钟（D2000I 系列）
　　电气连接：9针D 型
　　入口／出口过程连接：1／8″Male VCR 或1／8″Swagelok
　　控制阀：压电式常开
　　内置容积：＜0.71ml（P2000I 系列）；＜1ml（D2000I 系列）
　　重量：≤0.68Kg
　　结构材质
　　主体：316LSS
　　传感器组件：316LSS
　　阀构成部件：316LSS（D2000I 系列）；302SS 和316LSS（P2000I 系列）
　　“O”型环：316LSS
　　
　　订货时须提供：
　　1、产品型号
　　2、设定点输入／流量信号输出
　　3、接口尺寸和类型
　　4、流量范围
　　5、介质（液体类型）
　　6、工作温度
　　7、入口压力P1
　　8、出口压力P2（流量计无须提供）
　　9、其它要求

其他说明

表一
IPA	流量范围
(CCM)
液体介质校正系数
CupraSele	1.164
己烷	1.492
辛烷	1.532
OMS	1.927
TDEAT	1.258
TMP	1.357
四乙基原硅酸盐	1.156
T	1.413
0.003-0.14
0.008-0.40
0.020-1.00
0.070-3.50
0.150-7.50
0.220-11.0
水	0.492