该仪器主要用于硅单晶锭的定向,也可用于其它种单晶锭(棒)的定向。
该仪器为双工作台,右侧工作台用于晶锭端面的角度定向,左侧工作台用于切割后晶片角度的定向。
其他说明
项目 | 参数 |
晶锭直径 | 2-8 英寸 |
晶锭长度 | 500 |
测定晶面(硅) | 111 ,100 |
定向 | &plun; 30″ |
小读数 | 1″ |
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项目 | 参数 |
晶锭直径 | 2-8 英寸 |
晶锭长度 | 500 |
测定晶面(硅) | 111 ,100 |
定向 | &plun; 30″ |
小读数 | 1″ |