的全铝技术,横梁与Z轴采用表面硬质阳化航空铝合金,温度一致性;并降低了运动部件的品质和测量机在运行时的惯性,高;
三轴导轨均采用高自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨受磨损;
三轴均采用高欧洲光学尺,系统解析度可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光学尺的变形,在温度变化时的线性伸缩;
X轴采用精密60° 三角梁技术,相比矩形横梁,重心更低,品质刚性比,运动更加;
Y轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的同时,消除了运动扭摆,了测量和稳定性;
Z向采取获得的气动平衡技术,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,了测量机的和长期稳定性;
各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,运动的平稳和准确定位。