采用L型移动桥式,由两到三个高等高块规稳固支撑Y向槽型导轨,左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥,了运动质心,减少了阿贝误差;
X轴和Z轴均采用精加工及经过表面硬质阳化处理的航空铝合金;
Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨;
Z轴采用的可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,了测量机的和长
期稳定性;
各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,运动的平衡和准确定位;
三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨受磨损;
三轴均采用高欧洲光学尺,系统解析度可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光学尺的变形,在温度变化时的线性伸缩;
测量机三轴都配置温度感测器,即时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差。
X轴和Z轴均采用精加工及经过表面硬质阳化处理的航空铝合金;
Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨;
Z轴采用的可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,了测量机的和长
期稳定性;
各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,运动的平衡和准确定位;
三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨受磨损;
三轴均采用高欧洲光学尺,系统解析度可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光学尺的变形,在温度变化时的线性伸缩;
测量机三轴都配置温度感测器,即时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差。