株式会社小坂（KOSAKA）昆山办事处，小坂台阶仪ET200现货供应 KOSAKA ET200基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高表面形貌分析应用。ET200 能地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
产品特点：
二次元表面解析，可测量段差
高、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料
技术参数：
型号 | ET200 | |
样品尺寸 | φ160x48mm | |
样品台 | 尺寸 | φ160 |
倾斜度 | ±2°（X,Y手动） | |
承重 | 2Kg | |
检出器 | 触针力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
范围 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
驱动 | 直动式（差动变压器） | |
触针 | R2μm顶角60° | |
X轴 | 测长 | 100mm |
直线度 | 0.02μm/100mm | |
速度 | 0.005-20mm/s | |
重复性 | ±5μm（定位） | |
Y轴 | 测长 | 25mm/手动 |
Z轴 | 测长 | 50mm |
放大倍数 | 垂直 | |
水平 | 1-10000 | |
监控系统 | 摄像装置 | 1/3 inch CCD |
装置 | 视频捕捉板 | |
移动方法 | 手动 | |
辅助功能 | 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 | |
应用 | 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 | |
重复性 | 1σ1nm | |
电源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
外观尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（震台） | |
主要应用---膜厚测量
前制程机台（如曝光机、溅镀机、蚀刻机） recipe 找寻。例如：PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。
