- 产品品牌：
- MKS
- 产品型号：
- M100B
M100B
弹性密封质量流量控制器（通用型）
M100B是一种通用的弹性密封的质量流量控制器，可在生产，分析，工业以及测试等多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。对于当今市场上的质量流量控制器，M100B可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使M100B能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有模拟通讯模式，其为全量程的1%。 技术参数：全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM， 5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM，30000SCCM，50000SCCM（可选）控制量程：2% to 100%的全量程。测量：全量程的1%灵敏度：全量程的0.1%热机时间：小于2Min.响应速度：小于2Sec.输入电压：±15VDC@100ma输出电压：0-5VDC连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 数字：RS485或Device net或Profibus法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等材质：316不锈钢。质保期：有限保修自售出之日起18个月。 例：型号M100B00411CR1BV 校准气体（SEMI气体编号）* 采购序列号Helium, He 001Argon, Ar 004Hydrogen, H2 007Nitrogen, N2 013Oxygen, O2 015 校准流量SCCM（相当氮气50000） 10 11C 20 21C 50 51C 100 12C 200 22C 500 52C 1000 13C 2000 23C 5000 53C 10000 14C 20000 24C 30000 34C 50000** 54C 装配件（Y）（与以下兼容）SwagelokR4VCRR凸接头 R 0.25英寸SwagelokR S SwagelokR4VCOR G 0.125英寸Swagelok*** P 6 mm SwagelokR M 阀门（1）常闭（控制器） 1 连接器（W） 15针D型接口 B 型号M100B（续） 密封（Z）****Buna N B NeopreneR N VitonR V 用于M100B的电缆线CB147-1-10用来将M100B 15针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647CB259-5-10用来将M100B 15针D型接口连接至246, 247
