三维探针台是海格威自动化设备有限公司自主生产的微型压电线性马达驱动的三维探针台，该探针台具有结构紧凑、高、多功能、响应迅速及高性价比的特点，是实验室及生产检测设备的选择。该探针台采用了模块化设计的理念，可以十分方便地组合成各种探针检测设备，旨在满足各种诸如单切晶片、4’’以下晶圆、LED 芯片、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。该三维探针台配备专门的3 轴霍尔控制元件，可在观测的时候同时进行灵活和精准的操作。同时具备十分优良的可扩展性，可根据需要选配各种不同部件进行功能上的升级。
应用领域：
晶圆测试、 射频测试、LED 测试、 高温环境测试、功率器件测试、 低温真空测试、MEMS 测试、 低电流（fA）测试、PCB 测试、 I-v/c-v/p-iv 测试、液晶面板测试、 高压，大电流测试、太阳能电池片测试、 特殊气体环境测试、材料表面电阻测试、 强磁环境测试、纳米器件测试、 辐射环境测试
可选配件：
1、光栅闭环系统
2、不同规格探针
3、压电超精密 XY 轴样品载物台或手动XY 样品载物台
4、不同规格显微观察系统及显微镜万向连接装置
5、可定制不同规格尺寸安装底座及连接底板
6、真空吸附型卡盘（不锈钢、黄铜材质可选）
7、积分球夹具
8、视频 CCD 系统
9、封装器件夹具
10、PCB 板夹具
11、样品加热系统
12、光学隔振平台
13、屏蔽箱
14、强磁场及高真空度使用请直接咨询厂商以获得更加详细的信息
应用领域：
晶圆测试、 射频测试、LED 测试、 高温环境测试、功率器件测试、 低温真空测试、MEMS 测试、 低电流（fA）测试、PCB 测试、 I-v/c-v/p-iv 测试、液晶面板测试、 高压，大电流测试、太阳能电池片测试、 特殊气体环境测试、材料表面电阻测试、 强磁环境测试、纳米器件测试、 辐射环境测试
可选配件：
1、光栅闭环系统
2、不同规格探针
3、压电超精密 XY 轴样品载物台或手动XY 样品载物台
4、不同规格显微观察系统及显微镜万向连接装置
5、可定制不同规格尺寸安装底座及连接底板
6、真空吸附型卡盘（不锈钢、黄铜材质可选）
7、积分球夹具
8、视频 CCD 系统
9、封装器件夹具
10、PCB 板夹具
11、样品加热系统
12、光学隔振平台
13、屏蔽箱
14、强磁场及高真空度使用请直接咨询厂商以获得更加详细的信息
