ALIO 所有的Z 轴精密运动平台都提供纳米级别的运动定位，其式的结构更是保证了组件在运动过程中的定位和重复定位。所有Z 轴运动都可以与其它位移平台组合成多轴运动系统。其中更有各种可以适合在各种高真空及强磁环境下工作的型号可供客户进行选型。AI-VC-2400-Z-CB 规格参数（如需其他型号资料请来电或邮件索取）行程 1 24mm小步长10nm双向重复定位<±40nm定位2 ±500nm速度100mm/s推力36N直线度及平面度3 <±1umPITCH <±5arcsec4YAW <±5arcsecROLL <±5arcsecMTBF 40,000 小时重量 3.8kg滑块质量1.5kg1、24mm 为此系列产品标准行程，更多不同行程要求请直接咨询厂商2、在遵循指导的使用环境才能达到标称的定位3、此根据客户要求及定制给出4、1 ° = 1/3600 arcsec
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