三轴导轨均采用天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性；
三轴导轨均采用高自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨受磨损；
单边驱动活动桥式结构，显著运动性能，测量及稳定性；
Y轴采用整体燕尾式导轨，消除了运动扭摆，了测量及稳定性；
欧洲开放式金属光学尺，解析度为0.4um；
控制系统采用欧洲高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现即时控制；
三轴均采用大规率驱动器、电机及双减速装置，传动、准确。
Model | 机器型号 |
| KTM-121510 |
Strokes(mm) | 行程（mm） | X | 1200 |
Y | 1500 | ||
Z | 1000 | ||
Measuring Space（mm） | 测量空间 | Dx | 1300 |
Dy | 2340 | ||
Dz | 1150 | ||
Dx1 | 173 | ||
Dy1 | 280 | ||
Threaded holesize granite platform(mm) | 花岗岩平台螺纹孔尺寸（mm） | M1 | 156 |
M2 | 120 | ||
Mx | 300 | ||
My | 300 | ||
Overall size(mm) | 外型尺寸（mm） | L | 2820 |
W | 1980 | ||
H | 3460 | ||
Max.part weight(kg) | 承重 | 2000 |
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Machine weight(kg) | 机器重量 | 5300 |
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Accuiacy(µm) | MPEe | 5.0+L/300 |
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MPEp(µm) | MPEp | 5.5 |
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Gratingresolution(µm) | 光粣尺分辨率 | 0.4 |
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Space moving | 空间移动速度 | 200 |
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Speed(mm /s) | 空间移动加速度 | 450 |
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Space mobile(mm/s2) | 流量/供气压力 | 150N1/min,0.45Mpa |
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