| 测量范围及 | Z轴（纵方向） | &plun;160μm |
| X轴（横方向） | 12.5mm |
| 测定分辨率 | 0.01μm/&plun;20μm～0.08μm/&plun;160μm |
| 测量速度（X轴） | 0.6mm/s(返回1mm/s) |
| 传感器 | 测针半径 | 5μm |
| 测针材质 | 金刚石 |
| 测量力 | 4mN以下 |
| 测量及分析项目 | 对应规格 | JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984 |
| 参数或计划类型 | Pt、Ra、Rq、Rz、Rzmax、Rp、Rt、R3z、R、Pc、Rk、 |
| Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、VO、K、Rmr、R、Rx、AR、W、Wx、 |
| AW、Wte(JIS-2001) |
| 评价曲线 | 断面曲线、粗糙度曲线、ISO13565曲线、粗糙度 |
| Motif曲线、波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线 |
| 滤波类型 | 高斯、2RC |
| 截止波长 | λc:0.08、0.25、0.8、2.5mm；λs:2.5、8μm |
| 显示及操作 | 显示屏 | 3.5英才彩色显示，中文界面对应 |
| 操作界面 | 人性化设计，操作简单方便，且功能丰富。 |
| 配件及其他 | 测针种类 | 四种类型测针 |
| 数据导入导出 | 数据可通过数据线或U接口导出；内置打印机 |
| 倾斜机构装置 | 控制部可平放及15°和36°倾斜放置；人性化设计，方便操作，减少操作带来的疲劳。 |
