- 品牌/商标：HORIBA
- 企业类型：贸易商
- 新旧程度：全新
- 原产地：日本
SEC-8000系列为压电控制阀
超高纯：全部金属结构，金属密封
采用特殊传感器及控制阀，适合于150°C高温烘焙
应用领域广泛：液态源蒸发输送控制，低挥发压力气体输送控制，金属有机源输送控制，腐蚀性气体输送控制，超高纯气体输送控制等
SEC-2000系列为热电控制阀
：±1.0% F.S.
线性度：± 0.5% F.S.
重复性：± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S. (SEC-8000); 5 ~ 100% F.S. (SEC-2000)
响应速度：< 2秒 (SEC-8000); < 6秒 (SEC-2000)
气体接触部件材料：SUS 316不锈钢 (SEC-8000)；SUS 316不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封) (SEC-2000)
满量程流量
SEC8340S/8440S: 5sccm ~ 2slpm
SEC8450S: 3 / 5 / 10slpm; SEC8455S: 10 / 20slpm
SEC8460S: 20 / 30 / 50slpm
SEC8340LS/8440LS: 5sccm ~ 5slpm
SEC8450LS: 10 / 20slpm; SEC8455LS: 30 / 50slpm
SEC8460LS: 50 / 100 slpm
SEC-2410: 10sccm ~ 5slpm
SEC-2510: 10 / 20slpm
SEC-2551: 30 / 50 / 100slpm
超高纯：全部金属结构，金属密封
采用特殊传感器及控制阀，适合于150°C高温烘焙
应用领域广泛：液态源蒸发输送控制，低挥发压力气体输送控制，金属有机源输送控制，腐蚀性气体输送控制，超高纯气体输送控制等
SEC-2000系列为热电控制阀
：±1.0% F.S.
线性度：± 0.5% F.S.
重复性：± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S. (SEC-8000); 5 ~ 100% F.S. (SEC-2000)
响应速度：< 2秒 (SEC-8000); < 6秒 (SEC-2000)
气体接触部件材料：SUS 316不锈钢 (SEC-8000)；SUS 316不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封) (SEC-2000)
满量程流量
SEC8340S/8440S: 5sccm ~ 2slpm
SEC8450S: 3 / 5 / 10slpm; SEC8455S: 10 / 20slpm
SEC8460S: 20 / 30 / 50slpm
SEC8340LS/8440LS: 5sccm ~ 5slpm
SEC8450LS: 10 / 20slpm; SEC8455LS: 30 / 50slpm
SEC8460LS: 50 / 100 slpm
SEC-2410: 10sccm ~ 5slpm
SEC-2510: 10 / 20slpm
SEC-2551: 30 / 50 / 100slpm
