超高：±0.5% F.S. (SEC-405);
宽量程范围，同一型号内流量控制范围0.1sccm ~ 200slpm;
紧凑型设计，106mm VCR面间距(SEC-300);
：±1.0% F.S. (SEC-405: ±0.5% F.S.)
线性度：± 0.5% F.S.
重复性：± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S (5 ~ 100% F.S.)
响应速度：< 6秒
气体接触部件材料：SUS 316不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)
满量程流量
SEC310/320: 5SCCM ~ 500SCCM
SEC405/410: 10SCCM ~ 5SLPM
SEC510/520: 10 / 20 SLPM
SEC510A/520A: 30 / 50 SLPM
SEC551/552: 30 / 50 / 100 SLPM
SEC610/620: 50 / 100 / 150 SLPM
SEC623: 150 / 200 SLPM
宽量程范围，同一型号内流量控制范围0.1sccm ~ 200slpm;
紧凑型设计，106mm VCR面间距(SEC-300);
：±1.0% F.S. (SEC-405: ±0.5% F.S.)
线性度：± 0.5% F.S.
重复性：± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S (5 ~ 100% F.S.)
响应速度：< 6秒
气体接触部件材料：SUS 316不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)
满量程流量
SEC310/320: 5SCCM ~ 500SCCM
SEC405/410: 10SCCM ~ 5SLPM
SEC510/520: 10 / 20 SLPM
SEC510A/520A: 30 / 50 SLPM
SEC551/552: 30 / 50 / 100 SLPM
SEC610/620: 50 / 100 / 150 SLPM
SEC623: 150 / 200 SLPM
