仪器简介：
技术参数：
主要特点：
Wyko NT9800 光学轮廓仪在0.1nm 到 10mm 的垂直扫描范围内提供了非接触式高速高三维表面测量工能，纵向分辨率可达0.1nm。NT9800 采用了Veeco的内部实时激光参考信号进行持续的自校准，减小了通常情况下使用标准块校准设备的需要，并且能够补偿工作环境下系统产生的热漂误差。作为业内的第九代Wyko NT系列光学轮廓仪产品，NT9800 具有的自动化水平，友好的用户界面，以及业内的Wyko Vision分析软件系统。众多先进技术的集成、经过长期实用验证的测量技术以及适合于各种应用需要的软件功能，使 NT9800 成为世界上先进的光学干涉测量设备，可满足MEMS、金属研究、材料科学、半导体、医用器械等众多领域科研和生产工作中对高自动化表面测量的需要。
技术参数：
1、纵向扫描范围：0.1nm~1mm (标配）
2、垂直扫描速度：25um/s
3、样品台尺寸：200mm
主要特点：
1. 非接触测量
2. 重复性高
3. 测量高
