MIRA 3 XMU/XMH是TESCAN新推出的场发射扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的设计.
1．高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪音图片。独有的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。
2．结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化。
3．成像速度快。
4．高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。
5．出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。
6．由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。电子枪由离子泵抽真空。
7．完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
8．成熟的控制软件，图片获取，存档，处理和分析功能。
9．网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。
10.15种强大的自动功能。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.显示尺寸：4种实时影像显示尺，可至1024x1024；9种图像存储尺寸，可至8192x8192。同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形3种尺寸，也可同时显示任意张实时影像或储存图像。
II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing)：提供15种图像处理功能。
VI.量测功能：提供13种量测的功能
VII.图像存盘：
1).浏览已储存影像的相本。
2).找寻已储存影像的数据库系统。
3).产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的影像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定：可以设定次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用电子显微镜的鼠标控制其他连接设备的鼠标进行操作。
技术参数：
1. 分辨率:高真空(二次电子)1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV,2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
(背散射电子): 2.0 nm at 30 kV(XMH型选配，XMU型标配)
低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV ,3.0 nm at 3 kV (XMU型选配)
2.放大倍数:4 tox
3.真空系统:电子枪真空<3*10 -7Pa
离子枪真空<5*10 -6Pa
样品室/低真空7-150Pa(U型标配)
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流2pA—100nA
6.内部直径: 300mm(宽) x 300mm(深)
样品室门：280mm(宽) x 310mm(高)
接口数: 11+
7.样品台行程:（5轴马达控制）
X=130mm——马达控制
Y=130mm——马达控制
Z=100mm——马达控制
R=360°连续马达控制
T=-30° 至+90°马达
样品高度143mm.
*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜
主要特点：
国内使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;广角模式;鱼眼模式,很方便寻找样品位置;倾斜电子束模式
3.的低真空二次电子探测器(LVSTD).
4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
6.采用气垫减震系统
7.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
8.11个以上外扩展接口.
9.可进行远程控制
