VEGA 3 EasyProbe可分为高真空型和可变真空型，其运用的领域非常广泛，适合各类高等院校或公司选择。EasyProbe是SEM/EDS一体化机型，实现了One-Touch式的操作，使得操作非常简单，甚至没有经验的人员也可以在一天内学会操作。此外，EasyProbe可以说是性价比的一款SEM/EDS一体机，软件配置完整，硬件延续原有的VEGA并得到进一步发展，是值得信赖的一款SEM/EDS一体机。
技术参数：
SEM
1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
2.放大倍数:4.5 to×
3.真空系统:高真空<9*10 -3Pa，
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流1pA—20uA
6.样品室内部直径：160mm
7.样品台行程:
3轴马达控制
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z'=6mm——手动控制
R=360°连续马达控制
T=-90°至 90°手动
样品高度36mm.
EDS
分辨率： 133eV(Mn Kα) at 100,000cps
探头类型： XFlash TM Detector 410 M, 有效面积 10mm2
探头窗口： SLEW，探测元素从B(5)到Am(95)
探头冷却： Peltier couple (无需液氮)
输入计数率： 150kcps
定量： 无标样 PB-ZAF
主要特点：
VEGA 3 EasySEM可以触摸屏进行控制和操作，具有所有图像操作和处理功能以及一键式EDX分析工具栏。 当一键式EDX工具被激活时，系统显示实时SEM图片上选定区域的定量分析结果。
系统根据用户的技能水平可分为3个等级对电镜进行控制。电镜的所有功能都由触摸屏或键盘，鼠标和轨迹球或者选配的控制台通过Window™平台上的VegaTC软件控制。
