这是一台新设计的聚焦离子束系统，具备高分辨率成像功能。它由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，可以进行材料的刻蚀，沉积和TEM制样。它可以进行实时（在刻蚀或沉积时）观察（SEM）以及其它分析。
| AURIGA 基本参数 | ||
| 分辨率 | SEM | FIB |
| | GEMINI column 1.0 nm @ 15 kV 1.9 nm @ 1kV | Cobra column: 2.5 nm @ 30kV Canion column: 7nm@ 30kV |
| 放大倍数 | 12x – 1000 kx | 300x – 500 kx |
| 束流 | 4pA – 20 nA (80nm 可选) | 1 pA – 50 nA |
| 加速电压 | 0.1 － 30 kV | 1.0 – 30 kV |
| 发射器 | 热场(Schottky) | Ga 离子源（LMIS） |
| 气体注入器系统 | a) 5个（Pt,C,W, 碘，绝缘体,氟化物等） b) 4个＋局部电荷中和器（可使用所有的标准探测器） c) 一个 d) 在使用局部电荷中和器时，可使用所有的标准探测器 | |
| 样品台 | 6 轴超优中心马达台 移动范围 X,Y ＝ 100 mm Z ＝ 55 mm Z” ＝ 10 mm 倾斜＝ -10 － 60度，旋转＝360度 连续 AWD(分析工作距离)＝5－8.5 mm | |
| 样品交换室 | 80 mm / 100 mm 手动样品交换 | |
| 探测器 | 高效环形 In-lens 二次电子探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器 镜筒内置式 EsB背散射电子探测器（带0－1500V过滤网） 二次离子探测器（SESI） 固体背散射电子探测器 BF/DF STEM探测器 | |
| 样品室 | 330 mm(直径)，266 mm(高) 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统，局部电荷中和器等 2个观察用CCD. | |
| 操作显示系统 | 基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。 由鼠标，键盘，操作杆控制或控制板（可选） | |
