品名 扫描探针显微镜
型号 E-sweep
概要 大气中、真空中、溶液中等，对应各种各样的测定环境的环境控制单位。可在不同温度时测量样品表面的形貌和物性的变化，对升温条件进行程序设定，搭载了能够检出温度连续变化过程时的表面物性的変化的表面转移温度显示器功能。 SFT9000系列里的机型就是SFT9455。搭载着75W高性能X射线管和双向分离工检测器(半导体检测器+比例计数管)，符合“薄膜”、“合金膜”、“极微小部分测定”等镀膜厚度测定要求的高性能膜厚度测量仪。SFT9455还在镀膜厚度测定功能的基础之上增加了异物定性和查资料成分分析的功能。
特长
1. 对应环境测定需求(光学系的大气中配置 / 连续加热、冷却对应)
能够在以前的大气型SPM无法实现的环境下进行测定的环境控制型SPM。能够小限度控制表面吸附水的影响，在高真空状态下进行电测量、加热或冷却状态的样品的物性图像等。 另外，新开发的『温度扫描功能』可监视由于温度変化而引起的样品热膨胀和收缩的Z轴测定区域脱落，通过控制反馈信号，使悬臂在接触样品表面时的连续物性测定成为可能。
(号、号)
●大气中 ●液体中 ●真空中 ●气体气氛(流量控制)
●温度控制 加热?冷却(-120～300℃) 高温(室温～800℃)
●湿度控制(0～80%)
●外加磁场(水平、垂直、面内旋转、max 5000 Oe )对应！
(专用零配件使用)
2. 简易操作的实现(综合型Holder Flange)
通过采用不需使用工具的『综合型Holder Flange开闭功能』，样品和扫描器更換更为容易的同时，免去了作为环境控制SPM的样品更換后的所必需的光轴调整。 也没有必要进行测定模式切换时的支架更換。
3. 卓越的高性能的确立
采用了『Swing Cancel功能』。彻底减少了样品的起伏波动，控制了偏差量。提高了在超微需求的构造分析中不可或缺的基本性能，提升了可信度。
偏差量：0.015nm/sec以下
4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电物性模式的分辨率
观察电特性等的场合，因为样品表面和探针附着的水分的影响，有分辨率下降的可能性。 通过使其变为真空状态，排除了附着在表面的水分?污染物等，使物性观察模式的高分辨率且高感度的观察成为可能。
规格
分辨率 原子相
样品尺寸 20mmφ、厚度10ｍｍ对应 以加高挡板(零配件)对应至厚度20mm
样品移动范围 X-Y stage 5mm
扫描范围
标准： 20µm□/1.5µmH对应
• 150µm□/5µmH对应
• 15µm□/1.5µmH对应(闭环固定偏差控制)
定位显微镜
• 简易显微镜(×200倍)
• 光学显微镜(×1000倍)
• ズーム显微镜(×700倍)
• 金属显微镜(装有微分干渉)(×2000倍)
测定功能
• AFM(接触模式)
• DFM(轻敲模式)
• PM(相位)
• FFM(摩擦)
• MFM(磁力) • SIS模式
• LM-FFM(横振动摩擦)
• VE-AFM/DFM(粘弹性)
• Adhesion(吸附力)
• CURRENT(电流)
• SSRM(扩展抵抗)
• SNDM
• PRM(压电响应)、KFM(表面电位)
• 液体中AFM/DFM
• EC-AFM/STM
• NanoIndentation(硬度)
• Nano-TA(微区加热)
零配件
高温加热样品台
加热冷却兼用样品台
冷却真空
温度控制
