品名 激光功能带红外观察 光学显微镜
型号 SOM3355-IR
概要 是半导体的失效点定位，提高半导体生产的良率的有效手段之一。它运用了红外线的技术，从晶圆的背面进行失效点的观察并运用激光对观察到的失效点进行定位，从而大大的缩短了用FIB对失效点进行定位的时间。
特长
1. 红外/可视观察对应(显示倍率3200倍/17型液晶显示器上)。
2. 激光标识功能(波长 532nm/355nm)。
3. 搭载了300mm片对应样品台(X,Y,R)。与SMI系列共通的样品托架。
4. 对去除聚酰亚胺膜也有効。
5. 通过选配的联动软件，读取从缺陷检查仪器的位置坐标数据，对异物的对象也能够导航。
6. 通过选配的CAD导航连锁软件，与CAD的布局信息联动。与坐标调整联动，工作台向布局显示位置移动。
产品规格
激光532nm/355nm
接物镜5x/20x/50x/100x/50x(355nm用)
样品台 300mm片对应(X,Y,R),与SMI的共通的样品托架
与SMI系列的联动功能:50mm/200mm/300mm对应
自动对焦系统:红外观察对应数码CCD摄像头
标准选配
• 缺陷检查仪器联动功能
• CAD导航功能
