VEECO探针轮廓仪(台阶仪）的详细信息
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DektakXT ?Specifications规格 测量技术探针轮廓技术测量功能二维表面轮廓测量可选三维测量/ 样品视景可选放大倍率, 1 to 4mm FOV 探针传感器低惯量传感器 (LIS 3) 探针压力使用LIS 3传感器：1 至 15mg 低作用力（选配）使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至 15mg 探针选项探针曲率半径可选范围： 50nm至25μm 高径比 (HAR)针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm; 可按客户要求定制针尖样品X/Y载物台手动 X-Y 平移：100mm (4 英寸) 机动X-Y 平移：150mm (6 英寸) 样品旋转台手动，360°旋转; 机动：360°旋转; 计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows? 7.0; Optional 23英寸平板显示器软件 Vision64操作及分析软件；应力测量软件；悬臂偏转；缝合软件；三维扫描成像软件减震装置减震装置可用扫描长度范围 55mm (2英寸) 每次扫描数据点多可达120,000数据点样品厚度 50mm (2英寸) 晶圆尺寸 200mm (8英寸) 台阶高度重现性 <5?, 1σ在1μm台阶上垂直范围 1mm (0.039英寸) 垂直分辨率1? ( 6.55μm垂直范围下) 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz 温度范围运行范围20 到 25°C (68到77°F) 湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H ?(17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)
