德国BMT WLI白光干涉仪的详细信息
主要特点
0,1mm2到0,7mm2视场
采用钉合方式扩大视场配置物镜切换盘确定垂直分辨率来设定测量时间横向分辨率可达1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统全自动数据评估实验室和在线两用设计
主要优点：高保真轮廓复现，对物体三维结构快速，非接触式的定性和量化测量结果与材料表面性能无关根据用户需求配置系统和软件
无人干预全自动测量过程将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描
软件:
Windows XP 操作系统
测量和评估软件包括下列功能：??水平调整，图像缩放， 轮廓线的提取，毛刺的剔除, 过滤，数学计算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度参数，面积的测定，斜度和波度的分布状态及其它。?
用户特定要求的计算方法 ?技术数据：共焦显微镜头
标准规格配置50x/0.8物镜
带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器?光源: LED寿命 h: > 50,000小时采用步进电机时的测量范围mm：50mm采用压电执行器件时的测量范围μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm横向分辨率μm: 1μm工作距离mm: 0.66mm视场μm: 370 x 280μm256个高度台阶的测量时间s: 约 30秒重量kg：约12kg?测量工作台 X、Y、Z每轴位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm
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主要用途：粗糙和光滑表面的测量和显示亚微米范围内的微观形貌测量金相测量非接触式表面轮廓的计量主要特点
0,1mm2到0,7mm2视场
采用钉合方式扩大视场配置物镜切换盘确定垂直分辨率来设定测量时间横向分辨率可达1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统全自动数据评估实验室和在线两用设计
主要优点：高保真轮廓复现，对物体三维结构快速，非接触式的定性和量化测量结果与材料表面性能无关根据用户需求配置系统和软件
无人干预全自动测量过程将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描
软件:
Windows XP 操作系统
测量和评估软件包括下列功能：??水平调整，图像缩放， 轮廓线的提取，毛刺的剔除, 过滤，数学计算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度参数，面积的测定，斜度和波度的分布状态及其它。?
用户特定要求的计算方法 ?技术数据：共焦显微镜头
标准规格配置50x/0.8物镜
带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器?光源: LED寿命 h: > 50,000小时采用步进电机时的测量范围mm：50mm采用压电执行器件时的测量范围μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm横向分辨率μm: 1μm工作距离mm: 0.66mm视场μm: 370 x 280μm256个高度台阶的测量时间s: 约 30秒重量kg：约12kg?测量工作台 X、Y、Z每轴位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm
