NT9300采用Veeco新的第九代光学轮廓仪传感技术,同时可针对大尺寸样品、缝合的及不规则的样品实现大范围扫描(垂直方向可达10mm)。采用Veeco已申请的双-LED光源技术,系统可满足任何测量范围的光学需求。电动化XYZ样品台及的基于头部的俯仰/倾斜功能使任何使用水平的操作者都可以很容易地进行样品安装,调试。
行业的Wyko Vision软件提供200多种分析工具,包括自动序列测量和数据记录功能。可选的数据分析包有膜厚分析软件(针对100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地实现自动化,MATLAB界面可使工程师自行编程及整合用户分析算法。
结合了设计的硬件及强大功能的软件,NT9300是一款生产监控及工艺研制周期中的理想工具。