| 型号 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
| 外形 | 820mm长*720mm宽*890mm高 | 960mm长*850mm宽*900mm高 | 1300mm长*920mm宽*920mm高 | |
| 重量 | 170公斤 | 约230公斤 | 约300公斤 | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | | | |
| 样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移动 | 1um | | | |
| 样品固定方式 | 真空吸附 | | | |
| 背电测试功能 | 有，样品台电学悬空 | | | |
| 针座平台 | 规格 | U型平台，多可放置6个针座 | U型平台，多可放置10个针座 | U型平台，多可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降1um | | | |
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | | |
| 显微镜移动 | 1um | | | |
| 切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 注1 | | | |
| 放大倍数 | 20~4000X | | | |
| 镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X、100X(选配) | | | |
| CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | | | |
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | | |
| 机械 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | | | |
| 漏电 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) | | | |
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | | | |
| 应用方向 | 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 | | | |
| 可选附件 | 卡盘快速拉出装置 | | | |
| 显微镜倾仰装置(倾仰30度) | | | | |
| 显微镜气动升降装置 | | | | |
| 激光微加工 | | | | |
| 探针卡夹具 | | | | |
| 显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | | | | |
| 液晶热点侦测套装 | | | | |
| 高压/大电流测试套装 | | | | |
| 带真空底座的活动Chuck | | | | |
| 加热台 | | | | |
| 高低温样品台 | | | | |
| 屏蔽箱 | | | | |
| 转接头 | | | | |
| 震台 | | | | |
| 镀金卡盘 | | | | |
| 同轴叁轴卡盘 | | | | |
| 样品台快速升降，微调升降装置选件 | | | | |
| 样品台旋转微调选件 | | | | |
| 光强/波长测试选件 | | | | |
| 射频测试附件 | | | | |
| 有源探头 | | | | |
| 低电流/电容测试 | | | | |
| 兼容积分球测试选件 | | | | |
| 光纤夹具耦合测试选件 | | | | |
| 封装器件夹具 | | | | |
| PCB/封装夹具测试选件 | | | | |
| 定制 | | | | |
| 注1 | 配置体式显微镜(放大倍数16~100X)时显微镜固定，无需切换镜头 | | | |
