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供应纳米编码器 NG-B二维精密计量纳米编码器

价 格: 面议
型号/规格:NG-B
品牌/商标:ZSY

XY编码器或叫栅格,在X和Y方向上以10um的作为基础周期,整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。

概述

NG XY计量系统用于测量二维超精密平面位移,NG是一款可以避免湍流效应的基于栅格的XY的编码系统,湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的,该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中,能够保证其达到激光干涉仪的精度,并且以一个更经济的价格、更实用和更新坚固的制造工艺来封装它。

应用领域

高精度低成本的位置控制;

实时校准;

精密金刚石车削实验室;

镜头自动对焦;

主要特点

测量重复性为±20nm;

低阿贝误差;

对湍流和大气压强的变化不敏感;

分辨率可选20nm;

易于安装;

栅格和探头之间的间隙为12mm;

对准误差低;

可选真空版本;

完善技术支持,可定制;

标准的A-quad-B 输出;

低成本的超精密XY计量系统。

   

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NG-B

系统性能

重复性

±20nm

精度(175mm×175mm)1

±200nm 满量程

精度(380mm×380mm)1

±1.0um 满量程

1(温度变化±0.25℃)

速度2

1400mm/s

2(V-MAX=[边缘频率] X [LSB])

编码器到探头间距

12.0±0.1mm

测量区域
(其它区域可选)

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作温度

+10°C~+40°C

存储温度

–20°C~+70°C

NG探头

外形尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外壳材料

6061-T6铝

光源(785nm)

Class IIIb,3mw,激光二极管

重量(不包括线缆)

110g

接口线缆

3m,15针接头

双轴POLARFLASH处理器(A-quad-B)

分辨率(可选)

LSB=5um÷2N;N=5,6,7,8;
≈20、39,78,156nm

边缘频率(可选)

1.25,2.5,5,10MHz

数据传输时间

<4us

输出格式

A-quad-B差分TTL/每根轴

外形尺寸

127mm X 84mm X 24mm

输出格式

32位并行字

供电

+5DVC(±0.25V)@350mA

NG编码器

间距(机械/光学)

10 μm / 5μm

钠钙膨胀系数


深圳市真尚有科技有限公司
公司信息未核实
  • 所属城市:广东 深圳
  • [联系时请说明来自维库仪器仪表网]
  • 联系人: 江山
  • 电话:0755-26528100/26528011/26528012
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