•       炜盛 的F6000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本的优点。

  依据“气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原理，炜盛真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的气体而导致的细微的电阻变化。

  该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容积小），炜盛传感器能够提供超低的功耗和快速的响应时间。

  炜盛真空传感器还提供了一个与测量电阻具有相同电阻温度系数（TCR）的基准

  电阻，布置在传感器芯片基板上。传感器电路可用它来进行环境温度补偿。

  由于具有可靠性高，成本低，使用简便和超低功耗的逐项优点，采用MEMS工艺加工的，微型化的皮拉尼技术正在成为一个行业标准。炜盛    的 F6000 系列MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋势，以改善其现有的产品和开发新的产品。 

  技术特点：

  超低功耗<5毫瓦

  快速响应时间<5毫秒

  耐冲击至1000g

  可测量气体体积至0.1 cm3

  低噪声

  高分辨率

  同一芯片上进行温度传感

  长期稳定

  可用溶剂浸泡清洗，延长使用寿命

  实际应用：

      分析仪器

      使用前级真空的封闭系统的检漏

      半导体设备

      真空包装机

      便携式数字真空计

      小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度

      低成本真空开关来验证1托以下的真空度

  指标：

      工作温度：-40 C至125C（可提供更高温度型号）

      湿度：0到100％RH，非冷凝

      耐冲击性：1000g

      超压：27.5 Bar

   

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• F6000系列皮拉尼真空传感器

NO-A1 一氧化氮传感器 NO2-D4 二氧化氮传感器 NO2-B1 二氧化氮气体传感器 NO2-AE 二氧化氮传感器 NO2-A1 二氧化氮传感器 IRCH-A1 红外甲烷（CH4）传感器 H2S-D4 硫化氢传感器 H2S-D1 硫化氢传感器 H2S-BH 硫化氢气体传感器 H2S-BE 硫化氢传感器 H2S-B1 硫化氢传感器 H2S-AH 硫化氢传感器 H2S-AE 硫化氢传感器 H2S-A1 硫化氢传感器 CO-DF 一氧化碳传感器 CO-D4 一氧化碳传感器 CO-CX 一氧化碳气体传感器 CO-CF 一氧化碳气体传感器 CO-CE 一氧化碳气体传感器 CO-AX 一氧化碳传感器 CO-AF 一氧化碳传感器 CO-AE 一氧化碳气体传感器 TGS825 硫化氢（H2S）传感器 TGS826 氨气（NH3）传感器 TGS830 卤素气体传感器 TGS831 卤素传感器 TGS832 R-134a卤素气体传感器 CL2-D4 电化学式氯气传感器 IRC-A1 红外二氧化碳CO2传感器 CL2-B1 电化学式氯气传感器 CL2-A1 电化学式氯气传感器 CH-D3 催化燃烧式气体传感器 SE3455/5455 红外发射二极管 SE3470/5470 红外发射二极管 SEP8505/8506 红外发射二极管 SDP8405/8406 光电晶体（接收管） SD3443 光电晶体（接收管） SD2440 光电晶体（接收管） SD1440 光电晶体（接收管） SD5600/5610 光电斯密特接收器 SDP8600 光电斯密特接收器 HOA0901/HLC2705 编码器传感器 HLC1395/HOA0149/1397/1405 反射式光电套件 HOA1180/2498 反射式光电套件 HOA0890/0880/0872/0301/0306 槽型红外光电传感器 HOA6480 条形码传感器 FOP-125 光纤压力传感器 FOP-M260 光纤压力传感器 FOP-M260 光纤压力传感器 FOT-HERO 光纤温度传感器 TPT-32 光纤温度传感器 FOT-M 光纤温度传感器 FOT-L 光纤温度传感器 FOP-MH 光纤压力传感器 FOP-MIV 光纤压力传感器 FOP-MSL 侧视用光纤压力传感器 FOP-MS 侧视用光纤压力传感器 FOP-MA 光纤压力传感器 FOP-C 光纤压力传感器 FOP-M 光纤压力传感器 SFO-W 光纤应变传感器 EFO 埋入式光纤应变传感器 FOS-N 光纤应变传感器 FOD 光纤位移传感器 FRI 光纤折射率传感器 FTI-OEM-STD 单通道OEM信号调理器 FTI-10 单通道信号调理器 GA100 PC板封装式压力传感器 ASDX DO 数字式压力传感器 FC21&22 称重传感器 AP681/AP683 陶瓷压力传感器 MS5535 潜水设备用压力传感器 MS5540C 超小体积数字气压计用压力传感器 MS5561C 压力传感器 MS5536 医疗用压力传感器 MS5534 高度计用压力传感器 MS54XX 模拟量输出压力传感器 MSP300 系列压力变送器 M3431 压力变送器 MSP600 不锈钢压力变送器 MSP400 不锈钢压力变送器 HTW2700 流量传感器 AWM720P1 流量传感器 AWM5000 流量传感器 AWM3000 流量传感器 AWM2000 流量传感器 AWM43600 流量传感 HMC1052L Honeywell二轴磁阻传感器 HMC1052 低功耗二维磁阻芯片 HMC1022 一/二维磁阻芯片 HAAM-313B 小型三轴加速度传感器 GP2Y1010AU 灰尘传感器 DSM501 灰尘/粉尘传感器 SS443A 开关型霍尔位置传感器 HB100 微波移动传感器模块 CSNE151-100 电流传感器