SMT是一款专门为客户定制的OEM电涡流传感器产品,可测非导磁体和铁磁材料,有1、2或3通道可配电涡流探头。电涡流传感器材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化,埃米级分辨率,符合CE和RoHS标准,尺寸小巧,可配13种电涡流探头。
卡曼SMT-9700电涡流传感器系列是一个基于脉宽调制技术的系统。具体来说,相位检测是基于脉冲宽度调制技术。该系统占地面积小,是理想的OEM配置,具有的分辨率,并且只需要一个单端电源。定制的设计可调整满足客户的需求,同时18针的单列直插式封装卡可为客户整合到现有的主板。
目的
安全控制和保持半导体晶片的排列在物理气体沉淀形成的空间内。
避免晶圆在晶腔很小的入口处由于排列不整齐引起的破损。
确保材料层在晶圆的均匀沉积。
解决方案
在PVD系统内,晶圆片被转移进一些腔室内,每一个腔室沉淀一种不同的物质。传感器探头被固定在接受沉淀的腔室内(如图1)。每一个探头测量晶圆片进入腔室内的结束位置
KAMAN系统提供了模拟输出,或者可选的数字接口,用于标出可容忍的情况。如果平板倾斜,执行器把它校准水平。
结果:改善正常运行的时间和提高产量。
KAMAN的优点
使用Kaman-SMT-9700测量系统的原因:
非接触式
使用电涡流技术,每一个探头都能非接触测量目标的位置。
高分辨率
纳米级的分辨率。
可重复性
传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐
系统应用广泛
系统可广泛的应用定制。
KAMAN电涡流传感器KD2306高性能电涡流传感器是KD2300的更新产品,采用轨导DIN式结构。具备卓越的分辨率和速度性能(0.1um分辨率,50kHz高响应),满足各种实际需求,还可选择延长电缆、温度补偿等特殊需求。KD2306KAMAN电涡流传感器非常适合集成到OEM设备和工业控制应用中,例如:能直接非接触测量转轴的状态,对诸如转子的不平衡、不对中、轴承磨损、轴裂纹及发生摩擦等机械问题的早期判定,可提供关键的信息。 目的 通过控制绝缘纤维网状物体的宽度和长度,调整它的厚度(如橡胶、纸、橡皮泥、塑料、带颗粒的板,等等)。 维持一个精确的材料厚度(±0.001英寸)。 测量环境中存在的污染物。 解决方案 KD-2306 KDM-8206 物体厚度由两个辊的位置决定。KAMAN单通道传感器可以固定在一个导轨上,这个导轨滑动通过网状物。传感器探头通过绝缘网状物去测量后面的金属的距离。 KAMAN系统提供了DC模拟输出信号直接与厚度成正比。结果:改善质量和减少成本。 KAMAN的优点 使用KD2306/KDM-8206测量系统的原因: 非接触式 使用电涡流技术,每一...
测量方案: 采用真尚有的KD2306电涡流传感器,可以很好的监测钢锭铸锭过程中液面的高度和注速,使整个铸锭流程处于良好的状态,以减少坏品的出现,提高成坯率。 液位的控制可以将KD2306预先安装在要浇铸到的位置,当液位达到要求的高度时,电涡流传感器KD2306获取测量数据,并将信号通过模拟输出传输到其他的外部设备,从而达到停止浇铸过程的目的。 浇铸速度的控制可以让KD2306以浇铸需要的速度随着液面上升,当电涡流传感器KD2306监测传感器与到钢水液面之间的距离小于或者大于预先设定的范围值后,说明浇铸的速度过快或者过慢,KD2306就可以通过模拟输出将信号传输到外部设备,从而达到控制浇铸速度的目的。 应用前景: 钢锭是将冶炼好的钢液浇注到钢锭模内,凝固后形成的有一定高、宽比的固态钢块。钢水经盛钢包注入铸模凝固形成钢锭。钢液在炼钢炉中冶炼完成后,必须铸成一定形状的锭或坯才能进行加工。用铸模铸成钢锭的工艺过程简称为铸锭。在铸锭过程中由于操作不当或注速、铸温控制不当,会使铸成的锭有种种缺陷。常见的缺陷为:钢锭表面的结疤、重皮和纵、横裂纹,内部的残余缩孔、皮下气泡、疏松和偏析,混入钢中的耐火物和...