产品名称:微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
产品型号:ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
产品产地:德国 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
制 造 商:德国耶拿尔测量技术有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
详细介绍: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于微位移部件的测量,角度变化量的监测,移动平台运动情况的检测,及光刻机几何量的测量,数控机床几何量的测量,最多可实现六轴联动。具有以下性能优势: l 真正意义上的双频激光干涉仪,两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。 l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。 l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。 l 采样频率更快,达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l 被测物体速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。 l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。 l 信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。 l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,ZLM800型是理想的选择。 技术参数
应用 以下是为中国科学院设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用。在个中,用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个中,用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。 dzsc/17/7896/17789676.jpg dzsc/17/7896/17789676.jpg 以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。dzsc/17/7896/17789676.jpg ZLM800部分光路图示例和部件示意图 dzsc/17/7896/17789676.JPG dzsc/17/7896/17789676.JPG dzsc/17/7896/17789676.JPG dzsc/17/7896/17789676.JPG dzsc/17/7896/17789676.JPG dzsc/17/7896/17789676.JPG |
产品名称:高精度热电偶温度变送器(微处理器型) 产品型号:IT270、IT282、IT290、IT170、IT182、IT190 产品产地:瑞士 制 造 商:Soclair Electronic AG 详细介绍: 特点 1、本温度变送器将热电偶输出的电压转换为与其电压或温度(可选)成线性关系的标准信号输出(如0-10V或4-20mA)。 2、本温度变送器也可选择频率输出,10KHz。 3、使用微处理器来控制电路和标定,能够保证的精准度和稳定性(不使用电位器)。 4、多量程型变送器可通过RS232来设置,最多可设置8个不同的量程范围。所设置的量程范围,可以通过DIL开关来进行选择(不需要通过计算机)。 5、本温度变送器通过RS232串口,还可以进行其他信息交换(如AD数值、串口序号、标定数据等)。 6、本温度变送器输入输出之间两端电隔离,可选与电源的三端隔离,1KV或2KV测试电压。 7、对于多量程型变送器,可使用DIL开关来进行自我调试。 8、各种可选项:频率输出、限位开关、多路转换器、数字接口、低成本型变送器等。技术参数 DIN导轨型安装 型 号 输 出 量 程 特 点 IT270 V 1 一种量程,电压输出 IT282 0/4-20mA 1 ...
产品名称:测量电桥变送器|扭矩变送器|测力变送器 产品型号:SCM90、SCM90S、SCM90I、SCM90IS 产品产地:瑞士 制 造 商:Soclair Electronic AG 详细介绍: 特点 1、本测量电桥变送器/扭矩变送器将测量桥路的电阻信号放大并转换为标准的电压(如:0-10V)或电流(如:4-20mA)信号。 2、作为本测量电桥变送器/扭矩变送器的可选项,也可选择频率方式输出,20kHz。 3、对于可调型本测量电桥变送器/扭矩变送器(SCM 90和SIGS 15),使用开关来选择零点(迁移)、量程、桥路电压和输出方式。对于SCM90S型的变送器,还可设置截止频率(3 Hz - 15 kHz)。 4、本变送器适用于压力、力、应变式和其他桥路式传感器。 5、本测量电桥变送器/扭矩变送器适用于差动,高阻抗的电压输入。 6、高精度供桥电压(5V或10V,120mA)。根据需要可提电流供桥。 7、转换开关用来设置零点(±15mV)、量程(±127mV)、供桥电压(5/10V)和输出方式(电压或电流输出)。 8、可选项:频率输出方式(20kHz),电隔离,连接到总线方式。 9、抗干扰和损坏防护:短路保护,端子接反保护,所有输入端30Vdc过压保护,符合EC-EMC标准(EN50082/IEC 801)。技术参数 ...