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供应微位移测量激光干涉仪

价 格: 面议
型号/规格:ZLM800
品牌/商标:耶拿尔

 
产品名称:微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪
产品型号:ZLM800
产品产地:德国
制 造 商:德国耶拿尔测量技术有限公司
 
详细介绍:

    ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于微位移部件的测量,角度变化量的监测,移动平台运动情况的检测,及光刻机几何量的测量,数控机床几何量的测量,最多可实现六轴联动。具有以下性能优势 l  真正意义上的双频激光干涉仪,两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。 l  全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l   激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm l  干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm l  计算机辅助光路调整,调整结果更准确。 l  采样频率更快,达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l  被测物体速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。 l   无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。 l  信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。 l  对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,ZLM800型是理想的选择
技术参数
型号:ZLM800 使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长: 632.8 nm
激光稳频精度: 一小时2x10-9±0.002ppm 寿命内2x10-8±0.02ppm
系统精度(0-40℃时): ±0.4ppm
光束直径: 6mm (可选3.2mm)
激光管突发输出功率: 1mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数: 最多6
线性测量距离: 40m,可扩展为120m
角度测量范围: ± 15°20m轴线范围
平面度测量范围: 20m行程
直线度测量范围: ± 5mm2m10m行程, 选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围: ± 5mm2m10m行程, 30m行程需用角度干涉仪
速度: 4m/s可选16m/s 80rad/s,角速度
加速: 无限制
采样频率: 内部1MHz,外部40MHz
预热时间: 10分钟
精度/非线性: ±0.3nm (角隅反射镜) ±0.1nm (平面反射镜)
距离测量分辨率: 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选
距离测量精度: (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中时   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性度测量分辨率: 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选
线性度测量精度: (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中时   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度测量精度: ±0.5ppm实测值
角度测量分辨率: 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度测量精度: ±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率: 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度测量精度: ±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率: 36nm10m行程 7.25nm2m行程
直线度测量精度: ±0.5%实测值,2m行程 ± 2.5%实测值,10m行程
垂直度测量分辨率: 36nm10m行程 7.25nm2m行程
垂直度测量精度: ±0.5%实测值2m± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m± 0.5弧秒*
数据接口: 积分信号
32 Bit (
实时时间)
Dt » 20 ns
数据分析标准: ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境: 温度:15°C-30°C 湿度:<90%无冷凝
储存环境: 温度:10°C-40°C 湿度:<95%无冷凝

应用 以下是为中国科学院设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用。在个中,用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个中,用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。
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  dzsc/17/7896/17789676.jpg 以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。dzsc/17/7896/17789676.jpg

ZLM800部分光路图示例和部件示意图
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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
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