活动范围 300mm x 300mm
测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option)
测量速度 1~2 sec./site (fitting time)
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
选择 Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST)
Anti-vibration table
接物镜转换器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp
技术参数 活动范围 ~300mm x 300mm 测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) 光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option) 测量速度 1~2 sec./site(fitting time) 应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Large Size Wafer Measurement 选择 Transmittance Module Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST) 接物镜旋转器 Quintuple Revolving Nosepiecs 焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls 附带照明 12v 100W Halogen Lamp 主要特点 尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm 重量 400kg 类型 自动的 测量方法 无连接的 测量原理 反射计 特征 测量迅速,操作简单 非接触式,非破坏方式 的重复性和再现性 2D/3D 映射和造型 自动机械活动控制 电荷耦合器件照相机 自动调焦 仪器介绍 1996年以来,科美在半导体,平板显示器,电子物质,生命科学和化学分析上,研发和提供了独特的,先进的解决方案。科美,作为测量和分析技术市场上的领头和动力,以它突出的表现得到了世界范围的认可。