输入
输入方式 true differential.
耦合 AC
阻抗 100 兆欧// 20 pF
频率响应 0.5 Hz to 1 MHz
C.M.R.R.
x1000 gain > 110 dB (100 Hz to 1 kHz)
x10 or x100 gain > 90 dB (100 Hz to 1 kHz)
共模输入电压, x1000 gain 5 V pk-pk
安全电压 ±15 V DC or 10 V rms. AC @ 50 Hz
噪声 Typically 4 nV√Hz @ 1 kHz and x1000 gain, 10 nV/√Hz @ 1 kHz and x10 or x100 gain
增益 x10, x100 or x1000 可调
增益精度 ±1%
增益稳定度 ±150 ppm/degree C
输出
阻抗 450 欧
电压摆幅 >10 V pk-pk
电压转换速率 > 22 V/µs
失真度 < 0.01% T.H.D.
技术参数 活动范围 150 x 120mm(70 x 50mm 移动距离) 测量范围 200Å~ 35㎛(根据膜的类型) 光斑尺寸 20㎛ 典型值 测量速度 1~2 sec./site 应用领域 聚合体: PVA, PET, PP, PR ... 电解质: SiO2 ,TiO2 , ITO , ZrO2 , Si3N4 .. 半导体: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS... 选择 参考样品(K-MAC or KRISS or NIST) 探头类型 三目探头 nosepiece Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt 照明类型 12V 35W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer 主要特点 尺寸 190 x 265 x 316 mm 重量 12Kg 类型 手动的 测量样本大小 ≤ 4" 测量方法 非接触式 测量原理 反射计 特征 测量迅速,操作简单 非接触式,非破坏方式 的重复性和再现性 用户易操作界面 每个影像打印和数据保存功能 可测量多达3层 可背面反射 仪器介绍 1996年以来,科美在半导体,平板显示器,电子物质,生命科学和化学分析上,研发和提供了独特的,先进的解决方案。科美,作为测量和分析技术市场上的领头和动力,以它突出的表现得到了世界范围的认可。
技术参数 活动范围 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12") 测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) 光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option) 测量速度 1~2 sec./site 应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Wafer Measurement & OLED 选项 Programmable Auto Z Stage 参考样品(K-MAC or KRISS or NIST) 焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls 附带照明 12v 100W Halogen Lamp 主要特点 尺寸 500 x 610 x 640 mm 重量 45Kg 类型 手动的 测量样本大小 ≤ 8", 12" 测量方法 无连接的 测量原理 反射计 特点 测量迅速,操作简单 非接触式,非破坏方式 Print Function of Each View & Data Saving 仪器介绍 1996年以来,科美在半导体,平板显示器,电子物质,生命科学和化学分析上,研发和提供了独特的,先进的解决方案。科美,作为测量和分析技术市场上的领头和动力,以它突出的表现得到了世界范围的认可。