型号/规格：UL3000 Fab 4015#$%^4016#$最小可检漏率：<5x10-12 毫巴 升 /秒%^4017#$氦气%^4018#$%^4019#$吸枪模式: 最小可检漏率，<5x10E-8 毫巴 升 /秒%^4020#$吸枪模式反应时间 ：< 1秒%^4021#$10 至 40 ° C%^4022#$1050*472*987mm%^4023#$132公斤%^4024#$
产品描述：UL3000 Fab 专为满足半导体制造领域的专业要求而开发，如半导体和光电显示(包括子部件)的泄漏测试。
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