ASM142特点说明
l 新型质谱仪：
采用180度磁场偏移质谱仪，装配两具独立灯丝，可缩短待机时间，可使测漏仪可侦测到5.0E-12 mbar.l/s 之漏率
l 数字显示板：
四种操作方式，加强使用的友善性；采用数字及刻度的方式表示漏率，减少误读机会；以声响方式提醒使用者测漏情形。
采用高亮度LED数字显示漏率,读值容易且方便。
l 抽气系统：
粗抽系统采用ALCATEL 旋片泵及高真空分子牵引泵组合而成，真空值可达10E-5 mbar)，抽气速率可达
l 操作简单：
具有自动归零调整功能，可选择漏率单位( mbar.l/s ; torr.l/s ; Pa.M3/s )，自动选择测漏模式(大漏-Gross mode或是微漏Normal mode)，可自动计算分流效应，清洁简洁的操作面板。
l 构造坚固：
采用低转速(27000 rpm)，入口端压力为10mbar，启动时间短，反应时间快(<0.5 sec)，可使用在严厉的制程环境，并可在不关机的情况下移动使用。
l 多样化功能：
在任何测试模式的功能指示数值。
可以移动使用。
有可外接的RS 232及模拟式I/O，可将量值输出。
在遥控器上可操作自动校正、自动归零和放大功能。
重量仅
