明克斯XLE-3大平台检测显微镜

产品概述：

    明克斯XLE-3大平台检测显微镜是专为IT行业大面积集成电路，晶体的质量检测而设计开发制造的。正置式，三目镜筒，比传统的显微镜更适合于观察。

产品特点：

1、放大倍数：40倍至500倍；
2、超大型载物台，可作大范围的纵横方向快、慢速移动，扩大检测领域的使用范围。
3、可以与OVM-TM软件搭配使用。

技术参数：

1、机械筒长160mm。      
2、物镜

放大倍数	数值孔径	工作距离	介质	使用范围	配置
4×	0.10	17.912	空气	明场	1
10×	0.25	6.544	空气	明场	1
PC20×	0.40	1.05	空气	明场	1
PC40×	0.65	0.736	空气	明场	1

3、目镜

放大倍数	焦距	视场直径	备注
10×	25	18	-
12.5×	25	14	选配

4、物镜：放大倍数 40倍至500倍。
5、载物台面积  400mm×300mm。纵向移动范围---254mm横向移动范围---254mm
6、调焦机构：同轴粗微调机构，调焦范围36mm.格值0.002mm。
7、光源：内藏式连续调光电源，钨卤素灯12V/50W。
8、物镜转换器  五孔式 (四孔式)。
9、目镜筒  三目镜  (双目镜)。
10、仪器功能，明场、偏光、摄影等。
11、仪器重量：17公斤。
12、仪器体积：长560mm，宽530mm，高400mm。