产品介绍
明克斯XLE-2大平台检测显微镜
产品概述:
明克斯XLE-2大平台检测显微镜是专为IT行业大面积集成电路,晶片的质量检测而设计开发制造的。主体为:正置式、三目镜筒,比传统的显微镜更适合于观察。
产品特点:
1、放大倍数:40倍至500倍;
2、超大型载物台,样品可作大范围的纵、横方向快速移动,扩大检测领域的使用范围。
3、可以与OVM-TM软件搭配使用。
技术参数:
1、机械筒长 160mm。
2、物镜:
放大倍数 | 数值孔径 | 有效工作距离(mm) | 介质 |
4× | 0.10 | 17.912 | 干 |
10× | 0.25 | 6.544 | 干 |
20× | 0.40 | 1.05 | 干 |
40× | 0.65 | 0.736 | 干 |
3、目镜:
放大倍数 | 焦距 | 视场直径 | 备注 |
10× | 25 | 18 | |
12.5× | 25 | 14 | 选配 |
5、载物台面积 350mmX255mm 。
纵向移动范围---200mm
横向移动范围---200mm
6、粗微动调焦范围 25mm。微调转动一圈样品升降0.2mm,格值0.002mm。
7、光源 钨卤素灯6V20W,内藏式连续调光电源。
8、物镜转换器 四孔式 (三孔式)。
9、目镜筒 三目镜 (双目镜)。
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