nikon尼康L200晶圆检查显微镜

详细介绍

nikon 尼康 L200 L200A L200D半导体 8寸 晶圆检查 显微镜

CFI60无限远光学系统是将尼康的CF(自动消色差)设计与无限远光学系统结合在一起，使得物镜不仅工作距离更长，而且数值孔径更高； 符合SEMI S2-93A,S8-95设计； 利用计算机辅助工程系统（CAE）对机身进行防震设计； 具有全面的防污染措施。

主要技术参数 　 　

调焦机构行程：29mm，粗调：每转12.7mm(扭矩可调，具有再聚焦制动装置)，微调：每转0.1mm，每格1µm。

落射照明器 内置12V100W卤素灯，内置式孔径光阑（中心可调），固定型视场光阑（具有可调对准板），还可安装选配的小孔光阑滑块，可安装的4个ø25mm的滤光片（NCB11,ND4，ND16），具有起偏器和检偏器。

透射照明器（仅L200D） 内置12V100W卤素灯，内置式孔径光阑，内置式LWD聚光器，可安装的2个ø25mm的滤光片（NCB11,ND4）。

物镜转换器 固定式六孔物镜转换器，具有DIC插槽 目镜筒 超宽视场可倾式三目镜筒

载物台 8X8载物台，行程：205X205mm （透射观察时：105X105mm）粗微移动可以互换，X-Y方向微动手柄位置固定。

目镜 CFI目镜系列 物镜 CFI LU/L 平场系列

详 细 说 明：