超级轮廓测量仪

特点

• 高精度CNC轮廓／形状测量装置。
• X1, (Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s，确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。
• 带有a轴的型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
• CV- 4000CNC系列的驱动装置集成了LaserHologage检测器，可以在Z轴(垂直方向)的窄／宽范围内实现高精度和高分辨率测量。
• 带有Y轴的工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。
• 可以通过同时控制X, Y两轴，对斜面进行测量。
• Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检测器将自动停止。
• 提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
• 通过USB与数据处理／分析装置(选件)进行信息交换

技术参数

X1轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

测量方法:反射型光栅尺

驱动速度:200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)

测量速度: 0.02 - 2mm/s

测量方向:向前／向后

直线度: 2μm/200mm

*当X轴在水平方向上

指示精度:±(1+4L/200)μm, (20°C时) * L为驱动长度(mm)

a轴

倾斜角度: -45°至+10°

分辨率: 0.000225°

旋转速度: 1rpm

Z2轴(