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半导体特气检漏仪XP-703D
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半导体特气检漏仪XP-703D

价 格:
电议
型 号:
XP-703D
品牌/商标:
新宇宙
企业类型:
贸易商
新旧程度:
全新
原产地:
日本
产品介绍

半导体特气检漏仪XP-703D

规格

型       号

XP-703D

检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度 (单位:ppm) 砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气 AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2 0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内

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