測定範圍: X軸:100mm  Z軸: 50mm

驅動部真直度精度: 0.8μm/100mm

驅動部上下移動量: 300mm

驅動部傾斜角度:  ±45°

測針追蹤角度: 向上: 77°    往下: 87°

驅動速度:
測定速度: 0.2~0.5mm/s
回程速度: 0.1~0.5mm/s,手動可  

測針上下作動:
圓弧運動(R=375mm)

測定力: 1~3gf(30mN)

光學尺,分解能X軸0.05μm,Z軸0.2μm,Z2軸1μm
指示精度:
X軸:±(1+0.01L/100)μm
 Z軸:±(2+|4H|/100)μm,Z=測定高度(±25mm)

測定倍率
X軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍
Z軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍

數值輸出: RS-232C

重量: 本体部: 約116kg

電源: Via AC adapter (100~240V AC,50/60 Hz)