碳氧含量测试仪

Nicolet硅片分析系统为半导体
行业硅片分析量身打造。基于功能
强大的Nicolet FT-IR光谱仪，Nicolet硅
片分析系统完美满足半导体研究人
员与产品开发团队的一切需求。
Nicolet硅片分析系统基于标准晶圆测
试平台（到直径300mm）和享有盛
誉的Nicolet 硅片分析软件包，分析快捷
有效。软件内置所有适用于常规半导体
行业分析测试内容的分析方法，并可按
用户需求添加适用于独特应用的分析方
法，功能更为强大。
Nicolet硅片分析系统可灵活应用于诸
多半导体分析测试领域，不仅可以分析
直径为50mm-300mm的晶圆，还能测试形
状不规整的硅片。系统不仅支持单点测
试和多点测试，并可全自动化整个硅片
分析流程。
Nicolet 硅片分析系统标准化应
用
● 厚度测量
--- 适用于外延层、微电机系统(MEMS) 器
件、绝缘硅(SOI) 、多晶硅和III-V族半
导体膜
--- 多种计算方式适用于0.25-750μm的外延
层测量
● 间隙氧和取代碳含量检测
--- 支持ASTM、JEIDA和DIN国际标准
● 介电膜表征
--- 硼磷硅玻璃(BPSG) 、磷硅玻璃(PSG)
和氟化硅玻璃(FSG) 膜中掺杂剂含量的
测试
--- SiN和SiON膜中氢含量的测试
Nicolet 硅片分析系统标准化
应用
Nicolet 硅片分析系统倚靠赛默飞
世尔科技全球100多位专家的强大技术
力量，为各个领域的应用提供并设计
的解决方案。空前的品质保证、
的培训课程和精益求精的产品完
全满足半导体及太阳能硅材料行业的
所有需求。

产 品 说 明
Nicolet 硅片分析系统硬件
● 透射/反射模式
● 手动安装晶圆
● 全自动化硅片分析
● 化光学选件，充分保障数据精准度
Nicolet 硅片分析系统软件
● 易学易用的操作界面
● 触摸屏设计
● 三重安全保障
● 大气背景自动扣除
● 定制开发应用软件包
● 多种化学计量学算法，如线性回归、最小二乘法、
偏最小二乘法
● 结果易于转化成其他Windows应用软件可辨识的格
式，形成通用的报告，方便展示