真空度测试仪

1、基于电离电荷的采样技术真空度测量仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁放电的研究中发现，在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此，我公司首刨了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。   2、漏电电流的处理对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这此漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10E- 4Pa 数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。   3、内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度的推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据通过数学处理，将其特征参数送入该系列产品。因此，该系列产品内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中的。   将灭弧室的两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，将电磁线圈环绕于灭弧室的外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，这样在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子做螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流一真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，并显示真空度值。