3400系列高压气体扩散器

关于高压气体扩散器的技术说明

技术交流>>新版 CGMP 规定 如何量测高压气体(如氮气, 压缩空气, 惰性气体)的洁净度CGMP   MetOne Particle Counter  for PAr, CDA, GN2, PN2  , Pipe  TEST

另外 无论您之前用谁的品牌（进口的 或 国产的）的尘埃粒子计数器, 都可以接上我们MetOne的 高压气体减压阀 去测试你们家的高压气体(如氮气, 压缩空气, 惰性气体)的洁净度

当然用我们的品牌会更完美.

MetOne3413 or 2400  for 0.3 or 0.5 um 安装方式简单

上游供气段(GAS:PAr, CDA, GN2, PN2  , Pipe  >  3423 we can do it.) + Diffuser (约USD3500.-) + CDA Purge

目前, 接管路测试仍建议使用原厂泄压阀Diffuser(压力需在 30~150PSI,  非一般调压阀, 请参考配线图) +Particle counter ,

是因为为了维持进入Particle counter的气体压力能够在常态 1atm 下 ,

及1CFM的取样速度,故量测时间只需1min中就;(若0.1CFM的取样速度,故量测时间需10min)_可以知道目前量测的情况,，数据传输方式: 请看各机型的通讯协议^^

高压气体微粒子计数器

< 高压气体微粒子计数器> 

高压气体经过 Diffusor (30~150 Psi) 压力调整至平常的压力状态后再经由Particle counter 读出目前气体中Particle 分布情形 ，可量测范围0.O2um-1um。应用于电子厂、光电厂中高压气体如PN2、O2、H2、CDA、AR..等。

常见问题

一、有关请购之量测 High Pressure Gas Particle counter 注意事项
何种机型适合量测何种气体??  
2100C/237H/3400/2400/227/HHPC2- 6/237 for PAr, CDA, GN2, PN2
 CNC1104 for PAr, CDA, GN2, PN2
 CNC1107 for H2, O2 inert gas

二、Sampleing Flowrate 需要 1.0 CFM 此大之耗量?
在相同的取样本积下HPC-101取样时间为MetOne2100的10倍
PMS需花10mins 才能知道完整的Data, MetOne2100只需1mins
最少的损耗,快速即时的了解目前CDA的状况。

三、Vacuum-Pump之作用为何?
是较新的设计, 与碳刷式PUMP不同的地方在于此设计在运转时不会产生Particals污染环境, 

四、请提供管路配置之流程图及注意事项?
注意压力是否有到达规定 30~150 Psi 

五、放置环境条件有无限制?
Environment Operating 55 to 84°F (12 to 29°C),
20 to 95% relative humidity, non-condensing
Storage -40 to 140°F (-40 to 60°C),
up to 98% relative humidity, non-condensing
接CDA量测 露点电 –70度 , 没问题
若需用ParticleCounter量测环境时, 只需将HPD从Particle Counter拆卸即可, 再用Particle Counter 量测Cleanroo