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产品介绍
工具测量显微镜
测量显微镜配置:
XY轴测量范围150mm*100mm或250mm*150mm
Z轴测量范围:150mm
测量系统:光电钢质光栅尺
分辨率:0.1um
测量精度:1.8um+0.005L um
QC测量计数器或IMS,OMS测量软件。
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