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FH1301D三轴数字加速度计、MEMS三轴数字型加速度传感器 MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器
简介
FH1301D三轴数字加速度计是有我公司自行研制，用于测量加速度的传感器。它采用高精度、低噪声MEMS芯片， 具有BIMOS信号限制电路。设计考虑多用户的需求，制造采用表贴工艺 技术。具有高可靠性和高封装坚固性特点，自检测（Self-Test）功能。
本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。
二、 原理
FH1301D三轴数字加速度计是建造在硅晶片顶部的表面MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克服加速度 感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央 板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转，从而产生电压输出信号。
三、 性能指标
FH1301D 技术参数 | |
X、Y、Z轴（g）测量范围 | ±2 (±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可选 |
频响（Hz） | 0-250 |
零偏（mg） | <2 |
零偏稳定性（mg） | <2 |
零偏重复性（mg） | <2 |
非线性度（％ F.S） | <0. 1 |
输岀接口 | RS422 |
数据更新率（可设） | 500hz@460800 (zui高 1000hz) |
供电要求 | |
供电电压（VDC） | 9-12 |
输入电流（mA） | <20 |
工作环境 | |
使用温度（°C） | -40 to +80 |
耐加速度0.1ms | 5000g |
重量、体积
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重量（g） | <50 |
尺寸（mm） | 26*26*13.2 |
四、通讯协议 MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器
接口形式：RS422
数据格式：1个起始位，8个数据位，无校验，1个停止位，高在前,低在后。
MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器
