TH510系列半导体CV特性分析仪技术解析与应用
一、设备概述
TH510系列是专用于半导体器件?电容-电压（C-V）特性测试?的高精度分析仪，具备多参数测量、高速扫描及多通道扩展能力，适用于功率器件、集成电路等半导体元件的研发与质量控制。
二、核心性能特点
?高效测试能力?
?双CPU架构?：LCR测试速度达0.56ms/次（1800次/秒），支持快速导通测试（Cont）。
?多参数同测?：可同步测量并显示寄生参数（Ciss、Coss、Crss、Rg）。
?灵活配置?
?通道扩展?：标配2通道，可扩展至6通道，支持双芯片并行测试。
?测试模式?：点测、列表扫描（最多1001点）、图形扫描（选件）。
?高精度与宽范围?
?电压范围?：VGS（±40V）、VDS（200V/1500V/3000V可选）。
?频率覆盖?：1kHz-2MHz，分辨率达0.01%。
三、典型应用场景
?器件测试?：MOSFET、IGBT、二极管等寄生电容及C-V特性分析。
?材料研究?：晶圆、液晶材料的介电常数与弹性常数测量。
?工艺优化?：通过C-V曲线评估半导体掺杂浓度与界面态密度。
四、技术参数摘要
| ?项目? | ?规格? |
|---|---|
| 显示系统 | 10.1英寸触摸屏（1280×800），Linux操作系统 |
| 测量精度 | 0.1%（参考说明书），电容分辨率0.00001pF |
| 接口配置 | RS232/USB/LAN/HANDLER，支持分档信号输出 |
| 物理参数 | 尺寸430×177×405mm，重量16kg，功耗≥130VA |
五、操作与扩展功能
?校准与分选?：支持开路/短路/负载校准，10档分选（Bin）及PASS/FAIL指示。
?数据管理?：内部存储100M，外接USB保存设定文件、图形及记录。
该设备以一体化设计（LCR+高压源+通道切换）为核心，兼顾效率与精度，是半导体研发与生产的理想工具。
