量程范围: 0.5-1000 SLPM
控制范围: 0.5% – 100% 满量程
标准精度: ±0.75%读数或 ±0.1% 满量程 ,以较大者为准 可选高精度: ±0.6%读数或+0.1% 满量程 ,以较大者为准 重复性: ±(0.2% 读数+ 0.02% 满量程)
响应时间: 低至30毫秒 预热时间:< 1s
MW系列操作条件
兼容气体: 98个预载可选择气体校准
工作温度: –10°C to +60°C
工作压力: 60 PSIA 压降(与范围有关):
低至0.07pid 差压:< 15 PSID
爆破压力: 80 PSIA
STP参考条件(默认值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)
